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        使用熱壓真空燒結爐時的異常情況應急方法

      2. 發布日期:2020-05-27      瀏覽次數:700
        •    熱壓真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝,可進行真空燒結,氣體保護燒結及常規燒結。是半導體設備系列中一種新穎的工藝裝備,它設計構思新穎,操作方便,結構緊湊,在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理,真空釬焊等工藝。
           
            使用熱壓真空燒結爐時的異常情況應急方法:
            冷卻水異常
            1、確認加熱電源已停止。
            2、爐外發生漏水,冷卻水量異常時,應盡快采取應急措施,如能保證水量,請繼續保持真空,如不能采取應急措施,保持原狀,確認設備冷卻下來。
            3、冷卻水發生異常時,設備處于停止狀態,馬上接通緊急用冷卻水。
            4、在高溫(超過200℃即視為高溫)時,如果冷卻水停止了,如果不能緊急送水,水冷電極、換熱器、真空室殼體及各泵可能被損壞。
           
            壓縮空氣的停止
            1、壓縮空氣異常報警時,設備處于停止狀態,應盡快到備用的壓縮機房,讓其恢復工作。
            2、真空中如壓縮空氣異常報警,且恢復需要較長時間時,則終止真空,讓設備停下來。
           
            突然停電
            1、停電時,如果斷水,應立即接通備用的冷卻水,接通水源。
            2、如果在非升溫、加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動設備,繼續運轉如需要較長時間,則將設備保持原狀。
            3、如果正在加熱和冷卻時,能夠盡快恢復時,重新啟動設備,如果需要較長時間時,則保持原狀,讓設備自然冷卻下來。